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三氟化氮氣體中微量HF含量用ADEV氟化氫測試儀|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

三氟化氮氣體中微量HF含量用ADEV氟化氫測試儀

三氟化氮氣體信息概覽

基本信息

  • 中文名:三氟化氮
  • 外文名:Nitrogen trifluoride
  • CAS號:7783-54-2
  • 分子式:F?N(或NF?,根據表示習慣)
  • 分子量:71.0019
  • 中文別名:氟化氮
  • 英文別名:232-007-1; trifluoroamine

物性數據

  • 性狀:無色、帶有霉味的氣體。三氟化氮氣體中微量HF含量用ADEV氟化氫測試儀
  • 熔點(oC):-208.5
  • 沸點(oC):-129
  • 相對密度(水=1):1.89(沸點,液體)
  • 相對蒸氣密度(空氣=1):2.45
  • 臨界溫度(oC):-39.3
  • 臨界壓力(MPa):4.53
  • 溶解性:不溶于水。

存儲方法

  • 包裝材料:70℃以下,NF?氣體對普通金屬不腐蝕,可使用鋼、銅、鎳、鋁和不銹鋼作為包裝材料。氣瓶需每兩年檢驗一次。
  • 運輸規定:按有毒高壓液化氣體規定運輸,汽車、火車可運,飛機禁運。氣瓶充裝系數不大于0.01。
  • 儲存條件:儲存于陰涼、通風的有毒氣體專用庫房,遠離火種、熱源。庫溫不超過30℃。與易(可)燃物、還原劑、食用化學品分開存放。儲區應備有泄漏應急處理設備。

合成方法

在熔融氟銨酸存在下,通過氨直接氟化工藝合成,反應產物經過除雜和低溫收集得到純凈的NF?。

主要用途三氟化氮氣體中微量HF含量用ADEV氟化氫測試儀

  1. 微電子工業:作為優良的等離子蝕刻氣體,與CF?+O?混合氣體對硅和氮化硅的蝕刻具有更高的速率和選擇性,且對表面無污染。同時,NF?與氫反應釋放大量熱量,是高能化學激光器的重要應用原理。
  2. 高能燃料:NF?在高溫下與有機化合物反應常伴有爆炸性,但也被視為一種潛在的高能燃料。

請注意,操作三氟化氮時需嚴格遵守**規范,以防意外發生。

在三氟化氮氣體中如果有PPM級的氟化氫氣體用什么來測量呢?

今天我們來看ADEV這款激光氟化氫氣體分析儀的原理測量技術參數等:



AtLAS 激光氣體分析儀基于可調諧激光吸收光譜技術(TDLAS)原理進行測量,獲取待測氣體特征吸收的光譜譜線。半導體激光器發射出特定波長的激光束(僅能被被測氣體吸收),穿過被測氣體時,激光強度的衰減與被測氣體的濃度成一定的凼數關系,從而進行的定量分析。

AtLAS 激光氣體分析儀采用 19 英寸標準機箱,將微控制器與數字化處理技術相結合,具有完整的自我診斷功能。



技術指標:

 ADEV激光HF氣體測試儀

 

 

測量范圍

0~10/100/1000/10000ppm,0-100%

 

線性誤差

±2%FS

 

 

重復性

±1%FS

穩定性

±1%FS/半年

響應時間

T90 小于 10s

校準周期

1 年(建議)

顯示器

7 寸彩色觸摸屏

氣路接口

G1/4"-Φ6 快擰接頭(可以定制)

接線方式

接線端子

 

 

傳感器壽命

大于 2 年(正常使用)

儀器壽命

大于 5 年(正常使用)

供電電源

85~264VAC,50/60Hz

 

 三氟化氮氣體中微量HF含量用ADEV氟化氫測試儀

儀器功耗

<20VA

環境溫度

-10~+50℃

環境濕度

小于 90%RH

進氣壓力

常壓±10%(出氣口應為大氣壓)

進氣流量

1~3L/min

通訊

RS485(標配)/RS232(選配)

Modbus RTU 協議

 

 

 

 

數量:1 組

模擬信號

輸出模式:4-20mA/ 0-20mA,支持軟

件切換

 

 

負載:小于 500Ω

開關量信號

報警點:1 個

繼電器觸點容量:24VDC,0.2A

 

 

 

線性誤差僅適用于通訊輸出,模擬信號可能因信號采集出現額外的誤差。

更多三氟化氮氣體中微量HF含量用ADEV氟化氫測試儀信息請直接致電埃登威上海公司18939876302

滬公網安備 31010902002456號

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