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半導體生產過程中露點儀Michell Pura的選擇解析|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

半導體生產過程中露點儀Michell Pura的選擇解析

半導體芯片作為現代科技的基石,對5G、物聯網、人工智能、自動駕駛汽車及智能穿戴等市場的發展起著至關重要的作用。隨著芯片尺寸的不斷縮小和制造工藝的日益精密,對生產環境和工藝條件的控制也提出了更為嚴格的要求。在這一背景下,露點儀的選擇變得尤為關鍵,以確保半導體生產過程中的氣體純度和工藝穩定性。半導體生產過程中露點儀Michell Pura的選擇解析

在半導體制造中,電子氣體被譽為“血液”,它廣泛參與蝕刻、清洗、外延生長、離子注入等關鍵環節。電子氣體的純度直接影響到集成電路的性能、集成度及成品率。隨著芯片制造工藝的小型化,對電子氣體的純度要求愈發嚴苛,這也對露點儀的靈敏度和準確性提出了更高的挑戰。

傳統上,高精度的水分儀往往伴隨著高昂的成本。然而,隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的出現,這一困境得到了有效緩解。密析爾(Michell)作為該領域的佼佼者,其研發的金屬氧化物陶瓷濕度傳感器技術借鑒了半導體領域的厚薄膜技術,將傳感器構建在堅固穩定的陶瓷基座上。通過多孔感濕層對水分子的吸收,傳感器能夠**測量出氣體中的露點值,即使對于超高純度氣體中的微量水分也能實現準確檢測。

基于這一技術,密析爾推出了Pura Advanced Online 2高純氣體露點變送器,專為半導體生產過程中的化學氣相沉積、蝕刻等環節設計。Pura變送器以其出色的穩定性和重復性,能夠測量低至-120°Cdp的露點值,在-60°Cdp時的精度高達±1°C。此外,它還具備快速響應過程環境變化的能力,并提供了本安版本,滿足ATEX、UKCA和IECEx等國際標準認證。半導體生產過程中露點儀Michell Pura的選擇解析

Pura變送器不僅性能**,而且在使用上也極為便捷。它可選配先進或經濟的顯示表,以滿足不同客戶的應用需求和預算。同時,其小巧緊湊的設計使得安裝更為簡便,無論是兩線制、三線制還是危險區域的型號,都能輕松應對。

在半導體行業中,Pura變送器的應用不僅有助于確保生產環境的穩定性和一致性,還能幫助廠商滿足日益嚴苛的工藝流程要求。其測量下限低至-120°C露點(相當于不到1ppbV的水分含量),為超高純氣體中的微量水分測量提供了簡單、經濟且有效的解決方案。

此外,Pura變送器還具備高度集成的采樣裝置、模擬和數字輸出、VCR過程接口等特性,進一步提升了其適用性和便捷性。對于需要顯示露點值或濕度值的應用場景,Pura還提供了可選的顯示單元,方便用戶實時查看數據。

在服務和校準方面,密析爾也為用戶提供了**的支持。用戶可以選擇傳感器替換服務,以確保在傳感器出現問題時能夠實現零停機時間。同時,密析爾還提供校準服務,確保傳感器在使用過程中的可追溯性和準確性。半導體生產過程中露點儀Michell Pura的選擇解析

綜上所述,密析爾Pura高純氣體露點變送器以其**的性能、便捷的使用以及**的服務支持,成為了半導體生產過程中不可或缺的重要工具。它不僅能夠滿足半導體生產對氣體純度和工藝穩定性的高要求,還能幫助廠商提升生產效率、降低成本并增強市場競爭力。

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