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高純氬選擇的挑戰:確保硅晶體生產的高品質及ADEV便攜式微量氧分析儀應用|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

高純氬選擇的挑戰:確保硅晶體生產的高品質及ADEV便攜式微量氧分析儀應用

氬氣,這一在工業領域廣泛應用的稀有氣體,以其高度的化學惰性著稱,既不易燃燒也不支持燃燒。在**制造業如航空、航海、原子能及機械工程中,氬氣常被用作焊接特殊金屬(如鋁、鎂、銅及其合金和不銹鋼)的保護氣,有效防止焊接過程中空氣引起的氧化和氮化現象。

特別是在半導體行業中,高純度氬氣扮演著至關重要的角色。它不僅用于焊接和不銹鋼制造,還是化學氣相沉積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散等關鍵工藝過程中不可或缺的介質。特別是在硅晶體的生產中,高純氬作為保護氣體,直接關系到單晶硅和多晶硅的質量。因此,如何正確選擇高純氬成為了提升硅晶體品質的一大難題。高純氬選擇的挑戰:確保硅晶體生產的高品質及ADEV便攜式微量氧分析儀應用

通過采用先進的凈化設備,當氬氣純度達到并維持在小于1ppm,同時含水量也低于1ppm的極高標準時,所生產的單晶硅中的氧和碳含量能夠顯著降低至0.5ppm以下。這一成就不僅延長了單晶硅的使用壽命,還極大地滿足了市場對高品質硅晶體的需求,贏得了客戶的廣泛贊譽。

然而,值得注意的是,普通液態氬在蒸發后往往未經過充分純化,其含氧量可能高達2ppm至5ppm,甚至有時超出這一范圍。而供應商提供的氬氣質量參差不齊,若客戶無法準確判斷其純度,便可能對*終產品的質量造成不利影響。

ADEV G9600 便攜式微量氧分析儀在單晶硅多晶硅行業有很多應用,下面來看看這款產品.

ADEV G9600 便攜式微量氧分析儀技術參數概覽

核心亮點:

  • **氧傳感技術:融合前沿科技,實現零維護運行,保障長達24個月的穩定使用壽命。
  • 本質**設計:嚴格遵循**標準,確保在易燃易爆環境下也能安心使用。
  • 靈活量程調節:提供5檔標準分析量程,支持自動與手動切換,輕松應對多樣化測量需求。
  • 堅固耐用結構:采用不銹鋼旁路取樣系統與防水外殼,無懼惡劣環境,持久耐用。

詳細技術參數:高純氬選擇的挑戰:確保硅晶體生產的高品質及ADEV便攜式微量氧分析儀應用

  • 測量原理:先進的燃料電池技術,確保測量結果的**與穩定。
  • 量程范圍:廣泛覆蓋0~10/100/1000ppm及0~1%/25%FS,**滿足各類應用場景需求。
  • 測量精度:<1%FS,高精度保證數據的可靠性。
  • 測量介質:支持惰性氣體、氦氣、氫氣、混合氣體及(CO2)酸性氣體等多種類型。
  • 區域分類:Class 1,Division 1,Group A-D,符合國際**規范。
  • 校準推薦:建議采用80%FS含氧量的標準氣進行校準,以確保測量精準。
  • 溫度補償:內置自動溫度補償功能,消除溫度變化對測量結果的影響。
  • 氣路連接:1/8"卡套接頭,連接便捷,密封性能**。
  • 操作界面:防水按鍵設計,搭配菜單驅動系統,操作簡便,功能齊全。
  • 顯示屏幕:大屏幕液晶顯示,分辨率0.01ppm,實時顯示環境溫度,信息清晰直觀。
  • 外殼材質:鍍鋁NEMA 4X材質,防水防塵,有效保護內部組件。
  • 流量需求:建議流量2SCFH(范圍1~5SCFH),確保測量穩定。
  • LED指示燈:直觀顯示電池電量與充電狀態,便于日常維護。
  • 線性度:>0.995,確保測量結果的良好線性關系。
  • 壓力適應性:進氣壓力5~30psig,出氣壓力為大氣壓,適應廣泛壓力環境。
  • 電源供應:內置長效可充電電池,充電周期長達60天(帶泵工作時為1天)。
  • 快速響應:恢復時間僅需60秒至10ppm以下,響應時間僅10秒,提升工作效率。
  • 取樣系統:集成流量控制、取樣/旁路切換及流量計,實現**取樣與流量管理。
  • 高靈敏度:<0.5%FS,精準捕捉微量氧氣變化。
  • 信號輸出:提供RS485信號,便于與各種外部設備連接和數據傳輸。

可選配件:高純氬選擇的挑戰:確保硅晶體生產的高品質及ADEV便攜式微量氧分析儀應用

  • 酸性傳感器:針對CO2含量超過0.5%的特定環境,提升測量精準度。
  • 整體式取樣泵:簡化取樣流程,適用于多種應用場景及本安設計要求。
  • 手提式便攜箱:便于攜帶與儀器保護,適合戶外作業或移動測量。
  • 其他取樣調節配件:根據個性化需求靈活配置,滿足多樣化測量要求。

應用領域:
廣泛應用于石油化工、煤化工、泄漏檢測、氣態單體過程分析、氣體純度分析、氣態純碳氫物流監測、半導體生產、惰性氣體焊接保護及熱處理等領域。

為解決這一問題,氬氣凈化裝置顯得尤為重要。無論原料氬氣的初始質量如何,經過凈化裝置處理后,進入晶體生長爐的氬氣均能保持穩定的高純度狀態,一般可達氧氣含量小于0.2ppm,水分小于1ppm。這種高度純凈且穩定的氬氣供應,為硅晶體的生產提供了堅實的保障,確保了晶體品質的穩步提升。

更多高純氬選擇的挑戰:確保硅晶體生產的高品質及ADEV便攜式微量氧分析儀應用信息請直接致電埃登威上海公司18939876302

滬公網安備 31010902002456號

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