特氣應用及半導體Ppb露點儀QZ360介紹
特氣,即特種氣體,廣泛應用于集成電路制造、顯示面板生產以及光伏電池生產等高科技領域。在這些領域中,特氣的純度、品種和性質都有著特殊的要求,是保證工藝過程順利進行的關鍵因素。
在集成電路制造中,特氣主要應用于清洗、刻蝕、成膜和光刻等環節。例如,摻雜用氣體用于改變半導體的電學性質,離子注入氣則用于將電荷注入到半導體中,而清洗用氣則用于**表面雜質。這些特氣的純度和品質直接影響到集成電路的性能和可靠性。
在顯示面板生產中,成膜工藝是關鍵環節之一,通過化學或物**相沉積、光刻和刻蝕等工藝過程實現。特氣在這些過程中扮演著重要的角色,為成膜提供必要的原料或參與反應過程。特氣應用及半導體Ppb露點儀QZ360介紹
在光伏電池生產中,特氣主要用于擴散、薄膜沉積和刻蝕等環節。雖然所用氣體種類相對較少,但其用量遠遠超過半導體行業中的用量。這些特氣在太陽光與半導體材料的作用中起到關鍵作用,形成光伏效應。
然而,在這些超純氣應用中,氣體中殘余的濕氣對過程處理的正常運作至關重要。一直以來,持續追蹤測量濕氣都是一個難點,需要使用復雜的濕度分析儀或昂貴的分析技術。但現在,ADEV儀表推出了一款簡單、經濟的方案——QZ360露點儀變送器,專門用來在線測量超高純氣體中的微量水分含量。
QZ360露點儀變送器基于ADEV儀表多年在石英震蕩露點傳感器生產和校驗的專業經驗,結合標準工業化的材料和制造流程,打造出適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器,專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。它不僅使用和安裝簡單,還具有各種可選型號和功能,以滿足各種特殊需求。特氣應用及半導體Ppb露點儀QZ360介紹
QZ360的測量下限達到驚人的-120°C露點(相當于不到1 ppbV),測量穩定性和重復性好。它采用高度集成的采樣裝置,提供模擬和數字輸出,安裝簡便,并具有VCR過程接口和緊湊小巧的設計。此外,可選的顯示單元可以輕松連接并作為QZ360的電源。
在許多高純氣體的應用中,如半導體行業,氣體的殘留水分對工藝操作的影響至關重要。根據以往的經驗,微量水分測量一直是一個難題,但現在ADEV推出了一款簡單、經濟的產品,可以在線測量露點達-120°C(小于1ppb)。QZ360露點變送器的優勢在于ADEV石英震蕩傳感器生產和校準的經驗和專長。結合工業標準材料和制造工藝,這款低成本變送器適用于大規模集成半導體制造廠或高純氣體管線中。特氣應用及半導體Ppb露點儀QZ360介紹
綜上所述,特氣在高科技領域的應用中發揮著重要作用,而QZ360露點儀變送器則為這些領域中的濕度測量提供了簡單、經濟的解決方案。隨著特種氣體需求的持續增長和技術水平的不斷提高,相信這款儀器將在未來的特氣應用中發揮更加重要的作用。特氣應用及半導體Ppb露點儀QZ360介紹