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芯片制造:芯片特種氣體Ppb微量水檢測(cè)儀ADEV QZ360介紹|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司

芯片制造:芯片特種氣體Ppb微量水檢測(cè)儀ADEV QZ360介紹

在當(dāng)今的高科技時(shí)代,芯片制造是電子工業(yè)的核心,而芯片特種氣體則是這一過(guò)程中的關(guān)鍵原料。這些氣體在常溫常壓下難以發(fā)生化學(xué)反應(yīng),相當(dāng)穩(wěn)定,因此被廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)、醫(yī)學(xué)、**科學(xué)技術(shù)以及日常生活中。在芯片制造過(guò)程中,這些氣體主要用于氧化、刻蝕、摻雜等關(guān)鍵環(huán)節(jié),對(duì)于提高芯片的性能和可靠性起著至關(guān)重要的作用。

芯片特種氣體包括氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣、氡氣等,其中氖氣、氙氣和氪氣是芯片制造過(guò)程中必不可少的原材料。氖氣的化學(xué)性質(zhì)極不活潑,可用于生產(chǎn)過(guò)程中的保護(hù)氣,對(duì)于雕刻電路、芯片制造的精細(xì)化及穩(wěn)定起著十分重要的作用。全球近80%的氖氣被用于半導(dǎo)體制造,因此可以說(shuō),沒(méi)有芯片特種氣體,就沒(méi)法制造芯片。芯片制造:芯片特種氣體Ppb微量水檢測(cè)儀ADEV QZ360介紹

然而,在芯片制造過(guò)程中,對(duì)特種氣體的純度和穩(wěn)定性要求極高,尤其是對(duì)氣體中微量水分的控制。微量水分會(huì)影響特種氣體的性能,進(jìn)而影響芯片的制造質(zhì)量和可靠性。因此,對(duì)特種氣體中微量水分的檢測(cè)顯得尤為重要。

ADEV QZ360露點(diǎn)儀是一款專為超純氣體中的微量水分檢測(cè)而設(shè)計(jì)的儀器。該儀器基于ADEV儀表多年在石英震蕩露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn),結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程,打造出適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。芯片制造:芯片特種氣體Ppb微量水檢測(cè)儀ADEV QZ360介紹

QZ360露點(diǎn)儀具有測(cè)量下限低、測(cè)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、安裝簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn),能夠滿足芯片制造過(guò)程中對(duì)特種氣體微量水分的檢測(cè)需求。其堅(jiān)固而獨(dú)立的傳感器專門用來(lái)測(cè)量超高純氣體中的微量水分含量,使用和安裝簡(jiǎn)單,可選兩線制、三線制和危險(xiǎn)區(qū)域的型號(hào),是一款可自定義的產(chǎn)品,可以滿足各種特殊需求。

此外,QZ360露點(diǎn)儀的傳感器外殼采用冷拉不銹鋼制成,內(nèi)部潔凈度達(dá)到清潔室標(biāo)準(zhǔn)。該儀器還提供了完整的校準(zhǔn)和操作功能,并提供4-20mA的校準(zhǔn)輸出,能夠連接到ADEV的顯示模塊或控制系統(tǒng)。該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)具有*小的內(nèi)部結(jié)構(gòu),確保了過(guò)程應(yīng)用中的快速響應(yīng)速度,也保證了濕度測(cè)量時(shí)的快速響應(yīng)速度。同時(shí),整個(gè)系統(tǒng)可承受的*大壓力為240 Barg (3480 psi),使得該儀器具有較高的可靠性和穩(wěn)定性。

QZ360露點(diǎn)儀的安裝和操作也非常簡(jiǎn)便。其G1/2”外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm,符合標(biāo)準(zhǔn)。整個(gè)產(chǎn)品的高度僅為150mm,重量小于500g。QZ360是一個(gè)兩線或三線制的變送器,提供*大的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。此外,如果應(yīng)用中需要顯示露點(diǎn)值或濕度值,QZ360還可以提供兩種顯示方式。顯示器可以很容易連接,也可以作為QZ360的電源。芯片制造:芯片特種氣體Ppb微量水檢測(cè)儀ADEV QZ360介紹

綜上所述,ADEV QZ360露點(diǎn)儀作為一款專為超純氣體中的微量水分檢測(cè)而設(shè)計(jì)的儀器,具有測(cè)量下限低、測(cè)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、安裝簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)。它能夠滿足芯片制造過(guò)程中對(duì)特種氣體微量水分的檢測(cè)需求,為提高芯片的制造質(zhì)量和可靠性提供了有力支持。隨著芯片制造技術(shù)的不斷發(fā)展和進(jìn)步,ADEV QZ360露點(diǎn)儀將在未來(lái)的芯片制造領(lǐng)域發(fā)揮更加重要的作用。芯片制造:芯片特種氣體Ppb微量水檢測(cè)儀ADEV QZ360介紹

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