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半導體生產過程中露點儀的選擇及DP409手持款參數|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

半導體生產過程中露點儀的選擇及DP409手持款參數

背景:
半導體芯片在當今社會中發揮著至關重要的作用,它們是推動5G、物聯網、AI、自動駕駛汽車和智能穿戴設備等市場發展的關鍵因素。隨著芯片尺寸的不斷縮小和制造工藝的日益精細,對生產過程中的嚴格規范和**控制變得至關重要。這進一步依賴于能夠準確監測和控制工藝條件的傳感器和儀器。在半導體生產中,電子氣體的純度對于集成電路的性能、集成度、成品率等具有重要影響。隨著芯片制造工藝的小型化,對電子氣體純度的要求也越來越高。因此,選擇合適的露點儀對于確保半導體生產的質量和效率至關重要。

露點儀的選擇:半導體生產過程中露點儀的選擇及DP409手持款參數
在半導體生產過程中,選擇適合的露點儀需要考慮多個因素,包括測量范圍、精度、穩定性、操作簡便性以及成本等。金屬氧化物陶瓷濕度傳感器作為一種先進的濕度傳感器技術,具有高靈敏度和準確性,能夠滿足半導體生產中對露點測量的高要求。這種傳感器借鑒了半導體領域的厚薄膜技術,將整個傳感器構建在堅固穩定的陶瓷基座上。它能夠檢測超高純度氣體中低至百萬分之幾的微量水分含量,為半導體生產過程中的濕度控制提供了有力支持。

DP409手持式露點儀參數:
ADEV DP409手持式露點儀是一款功能強大的手持設備,適用于各種環境下的露點測量。以下是其主要參數:

  1. 測量范圍:露點 -100 ... +20 oCtd;溫度 -30 ... +50 oC(華氏、攝氏顯示可選);壓力 -0.1 ... 1.5 MPa(bar、MPa、PSI顯示可選)。
  2. 安裝簡易:通過軟管和快速接頭引出氣體即可進行測量。半導體生產過程中露點儀的選擇及DP409手持款參數
  3. 多種濕度單位顯示功能:具有相對濕度、大氣濕度、混合率、體積比、大氣露點等顯示功能。
  4. 校準功能:具有露點和壓力校準功能,確保測量的準確性和可靠性。
  5. 彩色觸摸屏用戶界面:類似于智能手機的大尺寸彩色觸摸屏,操作簡便直觀。
  6. 數據記錄和傳輸:可以通過USB接口或SD卡進行數據記錄,并可通過無線藍牙通訊連接電腦進行數據傳輸和打印。
  7. 就地打印:配備便攜式打印機,可快速打印測量結果和時間日期等信息。
  8. 套裝配件:ADEV DP409套裝包含測量室、電池充電器、USB電纜和一個特氟龍軟管等配件,方便用戶進行現場操作和快速連接壓縮空氣系統進行測量。半導體生產過程中露點儀的選擇及DP409手持款參數

總結:
在半導體生產過程中,選擇適合的露點儀對于確保產品質量和生產效率至關重要。ADEV DP409手持式露點儀以其高精度、高穩定性和操作簡便性等特點成為半導體生產過程中的理想選擇。其先進的技術和強大的功能可以滿足各種環境下的露點測量需求,為半導體生產提供有力支持。

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