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PH3磷烷氣體與ADEV便攜式微量氧分析儀G9600的應用|埃登威自動化系統設備（上海）有限公司

PH3磷烷氣體與ADEV便攜式微量氧分析儀G9600的應用

在電子氣家族中，磷烷(PH3)占據著重要的地位，是IC制造過程中不可或缺的核心原料。磷烷在半導體器件制造中作為關鍵的N型摻雜源，同時還廣泛應用于多晶硅化學氣相沉淀、外延GaP材料、離子注入工藝、MOCVD工藝以及磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。然而，PH3的易燃、易爆、劇毒特性也使其成為一個**挑戰性的氣體，需要高度專業和精準的設備來進行監測。在這方面，ADEV的G9600便攜式微量氧分析儀展現出了其**的實力。

PH3的毒性數據令人警覺：PEL/TLV為0.3ppm，STEL為1ppm，LC50為20ppm，IDLH高達200ppm，明確標明了其劇毒危害品的身份。因此，在半導體制造過程中對其濃度進行**監測是至關重要的。PH3磷烷氣體與ADEV便攜式微量氧分析儀G9600的應用

ADEV G9600微量氧分析儀為PH3磷烷氣體的監測提供了出色的技術支持。其核心特點如下：

寬泛的測量范圍：G9600能夠覆蓋0ppm至10ppm至0~25%的自動量程，使得在各種應用場景下都能夠進行**的測量。
高精度與快速響應：該儀器提供的±1%的準確性和＜15s的響應時間確保了實時監測數據的準確性。
輕巧與便攜：G9600的重量僅為3.4kg，搭配便攜式外觀設計和可充電的長壽命鋰電池，使其在各種工作環境中都能夠輕松使用。
強大的處理與分析能力：采用32位高速處理器和24位超高精度傳感器信號采樣技術，確保儀器的高性能表現。PH3磷烷氣體與ADEV便攜式微量氧分析儀G9600的應用
用戶友好與多功能：液晶顯示屏、引導式軟件操作菜單以及支持中英文切換的功能，極大方便了用戶操作。此外，G9600還支持數據下載定時數據存儲和RS485輸出等功能。

為滿足實際使用需求，G9600的標準配置包括主機、1/8英寸不銹鋼取樣管路、內置流量計和電源適配器。同時，ADEV為用戶提供兩年的備品備件清單，其中包括微量氧傳感器S8201，以確保長期使用的穩定性和準確性。PH3磷烷氣體與ADEV便攜式微量氧分析儀G9600的應用

結合PH3磷烷氣體的廣泛應用和ADEV G9600微量氧分析儀的技術優勢，我們可以看到這一組合在半導體制造行業中的巨大潛力。G9600的**測量能力、便攜性和強大的處理分析能力使其成為PH3氣體監測的理想選擇，為半導體制造過程提供了有力的技術保障。

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