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ADEV G1502氧氣分析儀在半導體電子元件和液晶應用中的應用|埃登威自動化系統設備（上海）有限公司

ADEV G1502氧氣分析儀在半導體電子元件和液晶應用中的應用

**摘要：**本文介紹了ADEV G1502氧氣分析儀的特點、規格及其在半導體電子元件和液晶制造過程中的應用。這種分析儀基于氧化鋯濃淡電池測量原理，提供了高準確性和穩定性的氧氣濃度測量。

一、ADEV G1502氧氣分析儀概述

ADEV G1502是一款采用氧化鋯濃淡電池測量原理的氧氣分析儀。其臺式/面板安裝型設計，結合數字4位顯示，為用戶提供了直觀且準確的氧氣濃度讀數。無論是半導體電子元件生產還是液晶制造，**控制氧氣濃度都是至關重要的。ADEV G1502氧氣分析儀在半導體電子元件和液晶應用中的應用

二、主要特點與規格

測量范圍：ADEV G1502的測量范圍從0-1/10/100/1000/10000ppm到10.10-20~10.-0atm，滿足了各種應用需求。
重復性：在1%至100%的樣品氣體濃度范圍內，其重復性為±1%FS。在10ppm至1%的范圍內，重復性為±2%FS。
采樣方式：分析儀采用內置泵的連續抽吸式采樣，確保氣體樣本持續、穩定地流入。
氣體條件：為適應不同的工作環境，這款分析儀可以處理*高達30 KPa的加壓氣體，流量范圍為1,000~2,000 mL/min，并確保在露點低于環境溫度的條件下準確測量。ADEV G1502氧氣分析儀在半導體電子元件和液晶應用中的應用
報警與輸出：設備提供FAIL和ALM報警輸出，確保設備異常或濃度超出設定范圍時及時報警。同時，氧濃度輸出為4-20 mA絕緣，與記錄儀配合使用，可以實現濃度的實時監控和記錄。
電源與接口：使用100~240VAC電源，并配備了INLET、BYPASS OUT和OUTLET等連接口，滿足各種現場安裝需求。

三、在半導體電子元件和液晶應用中的應用ADEV G1502氧氣分析儀在半導體電子元件和液晶應用中的應用
在半導體和液晶制造中，氧氣濃度的**控制對于產品質量和良品率有著直接的影響。ADEV G1502氧氣分析儀的高精度、高穩定性及多功能性，使其成為這些制造過程中的理想選擇。通過連接記錄儀，操作員可以實時監控生產環境中的氧氣濃度，確保產品始終在*佳條件下制造。

**結論：**ADEV G1502氧氣分析儀，憑借其出色的性能特點和適應性，為半導體電子元件和液晶制造提供了有力的支持。其高精度、高穩定性的測量能力，確保了生產過程的有效控制和產品的高質量產出。

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