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半導(dǎo)體微量水微量氧分析儀顆粒分析儀色譜儀CQC系統(tǒng)集成設(shè)計方案|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

半導(dǎo)體微量水微量氧分析儀顆粒分析儀色譜儀CQC系統(tǒng)集成設(shè)計方案
大宗氣體連續(xù)質(zhì)量控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)由分析儀、機(jī)柜、管道、調(diào)壓器、PLC等運(yùn)行分析設(shè)備，監(jiān)測中水N2/O2/AR/HE/H2 Oxygen和THC含量，大宗氣體質(zhì)量凈化過濾后的氣體應(yīng)進(jìn)行監(jiān)測，觀察其純度、粒徑等指標(biāo)是否高于實(shí)際工藝要求。目前重點(diǎn)在線連續(xù)監(jiān)測氣體中的氧含量、水含量和粒徑，而間歇監(jiān)測用于CO、CO2和THC雜質(zhì)。測試結(jié)果將與其他測試參數(shù)（如壓力、流量等）一起發(fā)送到控制室SCADA（監(jiān)控和數(shù)據(jù)采集）。

質(zhì)量監(jiān)控半導(dǎo)體微量水微量氧分析儀顆粒分析儀色譜儀CQC系統(tǒng)集成設(shè)計方案

氣體分析系統(tǒng)是一套以在線自動分析儀器為核心，采用現(xiàn)代傳感技術(shù)、自動測量技術(shù)、自動控制技術(shù)、計算機(jī)應(yīng)用技術(shù)，以及綜合分析軟件和網(wǎng)絡(luò)的綜合分析儀器。先進(jìn)的氣體在線自動檢測控制系統(tǒng)，實(shí)施氣體自動檢測，可實(shí)現(xiàn)連續(xù)監(jiān)測和遠(yuǎn)程監(jiān)控，為設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行提供可靠保障
流水線設(shè)計
1.管道平行鋪設(shè)，無交叉，整齊美觀
2、管道上的閥門錯開安裝，便于檢查、更換和操作
3、柜內(nèi)管路無死角設(shè)計，保證分析的及時性半導(dǎo)體微量水微量氧分析儀顆粒分析儀色譜儀CQC系統(tǒng)集成設(shè)計方案
4、明確閥位號標(biāo)識
5、EP管出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的保壓、氦檢、吹掃
6、背部采用無背壓設(shè)計，出廠前均經(jīng)過測試
H2**

為確保**，氫氣分析柜設(shè)計有多重**保證半導(dǎo)體微量水微量氧分析儀顆粒分析儀色譜儀CQC系統(tǒng)集成設(shè)計方案

1、排氣、風(fēng)速探頭，保證氫氣泄漏時，有足夠的風(fēng)量使分析柜內(nèi)的氫氣含量不至于爆炸極限
2.H2檢測器，檢測柜內(nèi)氫含量

3、氫氣截止閥，當(dāng)風(fēng)速計檢測到風(fēng)量低于設(shè)定值或氫氣檢測儀檢測到含量高于設(shè)定值時，將切斷柜內(nèi)分析儀電源.源供應(yīng)，并關(guān)閉氫氣供應(yīng)

微量水分析儀一般我們選擇ppb級別的光纖衰蕩技術(shù)的光能科技公司產(chǎn)品，微量氧分析儀我們一般選擇日本液化空氣空氣的ppb微量氧分析儀。

大宗氣體CQC系統(tǒng)是一個量測 N2、O2、H2 等大宗氣體內(nèi)之 H2O, O2, H2, CO, CO2, CH4, NMHC,N2,Ar 等不純物及粉塵顆粒(Particle)分析。設(shè)計規(guī)劃為按照氣體純度質(zhì)量等進(jìn)行。

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