ADEV微量氧分析儀校準方法檢定規程工作原理
在空氣分離和電子芯片產品領域，高純氣體和電子氣體的純度非常重要，其中氧氣是重要的雜質之一，其含量≤5μmol/mol。為了控制產品質量，空分廠商和電子芯片廠商都配備了大量的微量氧分析儀來監測高純氣體和電子氣體中的氧含量。通常來說我們都會為您推薦ADEV微量氧分析儀。 為保證微量氧分析儀測量結果的準確性，采用微量氧分析儀校準裝置對微量氧分析儀進行校準，校準依據為jjg945-2010微量氧分析儀。我院建立了微量氧分析儀校準裝置并開展了校準工作，有效保證了我省微量氧分析儀量值的溯源性和統一性。 微量氧分析儀根據使用場所的不同可以分為兩大類。一個安裝在實驗室，檢測瓶裝高純氣體中的微量氧。一是安裝在生產現場管道上的微量氧分析儀，長期連續監測高純氣體中的微量氧含量。由于空氣中含有大量的氧氣，為了避免拆裝時空氣中的氧氣對管道的污染，空分和電子芯片廠家很難將這樣的微量氧分析儀送到計量院的實驗室進行檢定，需要計量部門到現場進行在線計量檢定。ADEV微量氧分析儀校準方法檢定規程工作原理 目前，我國各測量單位使用的微量氧分析儀校準裝置主要由氣體標準物質、減壓閥、四通閥取樣裝置、管道等組成。該裝置固定在測試區域，不能移動或拆卸，因此微量氧分析儀必須由客戶送到計量所進行校準，但在線微量氧分析儀很難開展校準工作。 根據檢定規程的要求，使用的氣體標準物質包括零氣體、20% FS、50% FS和80% FS氮氧氣體標準物質，分別引入微量氧分析儀進行檢定。氧氣標準物質1和氮氣中的零點氣體2經過減壓閥3和調節閥4后連接到四通閥取樣裝置5，*后連接到微量氧分析儀6進行檢測。檢定氣路連接示意圖見圖1。 四通閥取樣裝置只能接兩路氣體，檢定工作時始終有一路接零氣，需要反復更換20% FS、50% FS、80% FS氮氧標準物質。由于空氣中含氧量較高，每次更換氣標準物質后，都要用氣標準物質沖洗管道。吹掃系統使氧含量從21%平衡到10μmol/mol需要(1 ~ 2)小時，消耗大量氣體標準物質，效率低，檢定成本高。因此，有必要開發一種新的采樣系統，以便于驗證。ADEV微量氧分析儀校準方法檢定規程工作原理 技術要素: 為了提高檢定效率，降低檢定成本，本發明提供了一種應用于便攜式微量氧氣分析儀檢定校準裝置。 本發明提供了一種便攜式微量氧氣分析儀校準裝置，包括三個標準氣體供給裝置、零點氣體供給裝置、四通道采樣裝置和移動平臺。 其中，四通道取樣裝置包括減壓閥、調節閥、四通閥、五通閥、脫氧管和不銹鋼管道；每個標準供氣裝置并聯后分別通過不銹鋼管道與五通閥連通，五通閥再與四通閥連通，零點供氣裝置串聯后依次與脫氧管和四通閥連通。ADEV微量氧分析儀校準方法檢定規程工作原理 優選地，零點供氣裝置通過不銹鋼管道依次與減壓閥和調節閥連接，兩個調節閥通過脫氧管連接，脫氧管另一端的調節閥與四通閥的零點進氣口連接，即依次為零點供氣裝置-減壓閥-調節閥-脫氧管-調節閥-四通閥的零點進氣口。 優選地，三個標準氣體供應裝置通過不銹鋼管與減壓閥和調節閥連接，減壓閥通過不銹鋼管與五通閥連接，五通閥的出氣端通過不銹鋼管與四通閥的標準氣體入口連接。
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