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TigerOptics微量水分析儀HALO LP半導(dǎo)體工廠高純度氣體和系統(tǒng)應(yīng)用|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司
TigerOptics微量水分析儀HALO LP半導(dǎo)體工廠高純度氣體和系統(tǒng)應(yīng)用
應(yīng)用

基于Tiger的性能，SEMI F-112標(biāo)準(zhǔn)將CRD作為確定高純度氣體系統(tǒng)水分干燥特性的優(yōu)選技術(shù)。為了檢查輸入或使用點(diǎn)的質(zhì)量，Tiger的CRDS分析儀會(huì)監(jiān)測(cè)O2、H2O、CH4、CO、CO2和更多氣體，直至十億分之一（ppb）甚至萬億分之一（ppt）水平。HALO LP是一種特殊的低壓型號(hào)，用于監(jiān)測(cè)氫化物中的雜質(zhì)，包括砷化氫、磷化氫和氨。如果需要在純氨中測(cè)量低ppb水分，ALOHA+H2O專門用于此應(yīng)用。

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在鋼瓶和卡車加注期間，以及在氣體輸送、儲(chǔ)存和分配系統(tǒng)中，大氣泄漏的可能性很高，這就要求世界領(lǐng)鮮的半導(dǎo)體工廠進(jìn)行連續(xù)的現(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)監(jiān)控。通常，監(jiān)測(cè)H2、N2、Ar、He和O2的痕量H2O、O2和CH4污染。可監(jiān)測(cè)的其他污染物包括CO、CO2和酸性氣體。

*近在測(cè)量列表中添加的空氣和CDA滿足了zui新的光刻要求。為了鑒定新的輸氣管線和焊縫，通常使用干氬和氮?dú)狻榱舜_保整個(gè)工廠的氣體質(zhì)量，除更換氣瓶后的管線和凈化器外，還對(duì)氣瓶進(jìn)行監(jiān)控，以驗(yàn)證其功能。TigerOptics微量水分析儀HALO LP半導(dǎo)體工廠高純度氣體和系統(tǒng)應(yīng)用

選擇的應(yīng)用程序包括：


散裝氣體監(jiān)測(cè)專用氣體高純度管道鑒定


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散裝氣體分析用分析儀范圍概述

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