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連續(xù)退火爐氣氛控制微量氧分析儀露點儀和氫氣分析儀用進(jìn)口ADEV品牌|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司

連續(xù)退火爐氣氛控制微量氧分析儀露點儀和氫氣分析儀用進(jìn)口ADEV品牌

連續(xù)退火爐廣泛應(yīng)用于化工、石油、食品、冶金、機(jī)械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門。隨著社會生產(chǎn)力的發(fā)展,其在各行業(yè)中的應(yīng)用越來越廣泛。退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。連續(xù)退火爐氣氛控制微量氧分析儀露點儀和氫氣分析儀用進(jìn)口ADEV品牌,其他產(chǎn)品:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機(jī)露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析

熱處理時,與工件直接接觸的介質(zhì)或氣氛主要有液休介質(zhì)和氣體介質(zhì)兩大類。

    退火爐液體介質(zhì)包括鹽浴、堿浴和金屬浴等,通常為中性的,即基本上不改變工件表面成份。
氣體介質(zhì)主耍有兩大類,一是空氣,它是含有78%N2,21%O2和1%其它氣體的天然氣體。在空氣中加熱,往往會產(chǎn)生工件表面氧化脫碳現(xiàn)象。采用一定的方法使退火爐爐內(nèi)的空氣稀薄到一定程度之后,爐內(nèi)即為真空。由于真空度可以人工調(diào)節(jié)和控制。連續(xù)退火爐氣氛控制微量氧分析儀露點儀和氫氣分析儀用進(jìn)口ADEV品牌
因而,從另一個角度,真空也可以看作是一種可控氣氛。這時,控制的不是氣氛的種類面是氣體的數(shù)量(有時,也向真空爐中充填其它氣體用于化學(xué)熱處理等)。另一類是可控氣氛,根據(jù)本身的性質(zhì)和用途,又可分為保護(hù)氣氛和化學(xué)熱處理用氣氛。

退火爐保護(hù)加熱金屬不氧化脫碳的氣氛稱為保護(hù)氣氛。在保護(hù)氣氛的基礎(chǔ)上加入相應(yīng)的富化氣,或者專門制備一定的氣氛,即可供化學(xué)熱處理之用。現(xiàn)代熱處理爐大多采用可控氣氛。本節(jié)主要介紹常用熱處理可控氣氛的制備和控制方法等。連續(xù)退火爐氣氛控制微量氧分析儀露點儀和氫氣分析儀用進(jìn)口ADEV品牌

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