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美國Tiger Optics微量水分析儀在超純電子氣行業(yè)的應(yīng)用|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司

美國Tiger Optics微量水分析儀在超純電子氣行業(yè)的應(yīng)用

埃登威是美國Tiger Optics微量水分析儀總代理,負責(zé)美國Tiger Optics微量水分析儀在的銷售和售后服務(wù)工作。

超高純電子氣體提純/除雜/純化原理與制備方法、特定元素控制技術(shù)及全流程工藝優(yōu)化集成技術(shù),研制開發(fā)微納電子制造用氯氣、氯化氫、氟化氫等超高純電子氣體,突破5N氣體制備技術(shù)及關(guān)鍵裝備技術(shù)、ppm氣體雜質(zhì)和ppb金屬離子檢測技術(shù)、生產(chǎn)環(huán)境和顆粒控制技術(shù)以及產(chǎn)品包裝與應(yīng)用技術(shù)。美國Tiger Optics微量水分析儀在超純電子氣行業(yè)的應(yīng)用

考核指標:超高純氣體氯氣、氯化氫純度5N7N,其中單種氣體雜質(zhì)(如H2OO2CO2COCH4)<1.0 ppmv,單種金屬雜質(zhì)(如AlCrCdCu)<1.0 ppbw;超高純氣體氟化氫純度不低于5N,其中單種金屬雜質(zhì)(如AlCrCdCu)<1.0 ppbw美國Tiger Optics微量水分析儀在超純電子氣行業(yè)的應(yīng)用

在超純氣中的微量水一般會是ppb別的,采用美國Tiger Optics公司的微量水分析儀是測量超純氣體微量水的里想微量水分析儀。美國Tiger Optics微量水分析儀在超純電子氣行業(yè)的應(yīng)用

美國Tigeroptics MTO/ HALO/HALO+系列產(chǎn)品是全球zui先進技術(shù)光腔震蕩衰減技術(shù)*產(chǎn)品。微秒反應(yīng),zui低檢測限0.2ppbv,無需維護。在HCL、NH3等特殊氣體 及各常規(guī)氣體中的水分含量、氧分含量檢測中有廣泛應(yīng)用。全球國家標準實驗室指定水分儀。美國Tiger Optics微量水分析儀在超純電子氣行業(yè)的應(yīng)用

光腔衰蕩光譜法已經(jīng)被定為國家標準

CRDS水分測試法已經(jīng)被定為國家標準

TIGEROPTICS水分儀國標號GB/T 5832.3-2011

CRDS已經(jīng)被定為國家標準GB/T 5832.3-2011

TIGEROPTICS水分儀已經(jīng)被定為國家標準GB/T 5832.3-2011

TIGEROPTICS水分儀已經(jīng)被定為國家標準

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